2020年日本表面真空学会学術講演会

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Cancelled

ポスター講演

[1P] ポスター講演

Thu. Nov 19, 2020 2:30 PM - 5:00 PM P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P53] Development of a flange mountable Ti-Zr-V non-evaporable getter coating device (2)

○谷本育律1),金秀光1),山本将博1),内山隆司1),本田融1) (1)高エネ研)