2020年日本表面真空学会学術講演会

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ポスター講演

[1P] ポスター講演

Thu. Nov 19, 2020 2:30 PM - 5:00 PM P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P54] Analysis of air leak rate from pinhole defect

○吉田肇1),平田真央2),原努2),樋口泰彦2) (1)産総研,2)(株)フクダ)