2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスター講演

[1P] ポスター講演

2020年11月19日(木) 14:30 〜 17:00 P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P62] ホウ素添加ホモエピタキシャル成長ダイヤモンド薄膜の過渡光容量法を用いた結晶欠陥評価

○毎田修1),兼本大輔1),廣瀬哲也1) (1)阪大院工)