2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスター講演

[1P] ポスター講演

2020年11月19日(木) 14:30 〜 17:00 P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P63] 高濃度ホウ素ドープダイヤモンド多層膜クラスター構造の作製とその評価

○毎田修1),兼本大輔1),廣瀬哲也1) (1)阪大院工)