2020年日本表面真空学会学術講演会

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ポスター講演

[1P] ポスター講演

Thu. Nov 19, 2020 2:30 PM - 5:00 PM P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P67S] Optimization of Spindt-type emitter geometry in large hole cavities using triode high power pulsed magnetron sputtering

○小澤真1),出井菜々子),モハメッド シュルズミヤ1),中野武雄1),大崎壽2),村上勝久2),長尾昌善2) (1)成蹊大院理工,2)産総研)