2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスター講演

[1P] ポスター講演

2020年11月19日(木) 14:30 〜 17:00 P会場

座長:中野 武雄・福田 常男

[1P67S] 三極型HPPMSを用いたスピント型エミッタ作製における大口径キャビティの形状最適化

○小澤真1),出井菜々子),モハメッド シュルズミヤ1),中野武雄1),大崎壽2),村上勝久2),長尾昌善2) (1)成蹊大院理工,2)産総研)