2020年日本表面真空学会学術講演会

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表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

[2Dp] 表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

Fri. Nov 20, 2020 1:00 PM - 3:30 PM D会場

座長:青柳 里果・野島 雅

1:15 PM - 1:30 PM

[2Dp02S] Sputtering of organic thin film by mass separated water cluster ion beam

○原和輝1),三田大翔1),野島雅1,2) (1)東理大院理工,2)東理大総合)