[2Dp] 表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

[2Dp02S] サイズ選択・水クラスターイオンビームによる有機薄膜のスパッタリング

○原和輝¹⁾，三田大翔¹⁾，野島雅^1,2) (¹⁾東理大院理工，²⁾東理大総合)