2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

Fri. Nov 20, 2020 1:00 PM - 4:30 PM E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

1:45 PM - 2:00 PM

[2Ep04] Quasi-Nanbu scheme extended to gas mixture and its application

○伝宝一樹1) (1)東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ(株))