2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

2020年11月20日(金) 13:00 〜 16:30 E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

13:45 〜 14:00

[2Ep04] 疑似南部法の混合ガスへの拡張と応用

○伝宝一樹1) (1)東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ(株))