2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

Fri. Nov 20, 2020 1:00 PM - 4:30 PM E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

2:00 PM - 2:15 PM

[2Ep05R] Improvement of temperature distribution and uncertainty evaluation for static expansion system

○武井良憲1),吉田肇1),小松栄一1),新井健太1) (1)産総研計量標準総合センター)