2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

2020年11月20日(金) 13:00 〜 16:30 E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

14:00 〜 14:15

[2Ep05R] 膨張法装置の温度分布の改善と不確かさ評価

○武井良憲1),吉田肇1),小松栄一1),新井健太1) (1)産総研計量標準総合センター)