2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

Fri. Nov 20, 2020 1:00 PM - 4:30 PM E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

2:15 PM - 2:30 PM

[2Ep06] Outgassing rate of aluminum alloy measured by low outgassing rate measuring apparatus

○小川直樹1,2),山下祐樹2),栗巣普揮2),山本節夫2) (1)ローツェ(株),2)山口大院創成科学)