2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

2020年11月20日(金) 13:00 〜 16:30 E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

14:15 〜 14:30

[2Ep06] 超低ガス放出速度測定装置によるアルミニウム合金のガス放出速度の調査

○小川直樹1,2),山下祐樹2),栗巣普揮2),山本節夫2) (1)ローツェ(株),2)山口大院創成科学)