2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

2020年11月20日(金) 13:00 〜 16:30 E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

14:30 〜 14:45

[2Ep07] ポリイミド上へのVO2薄膜成長及び剥離前後における電気的特性評価

○村上祥慶1),沖村邦雄2),中西俊博3) (1)東海大院工,2)東海大工,3)京大院工)