[2Ep] 真空科学技術(VST)

[2Ep13] 無酸素Pd/Ti蒸着したICF203ゼロレングスフィン型非蒸発型ゲッターポンプの排気性能評価と電子顕微鏡観察

佐藤裕太¹⁾，菊地貴司²⁾，宮澤徹也³⁾，大野真也¹⁾，橋本綾子^4,5)，山中操⁴⁾，○間瀬一彦^2,3) (¹⁾横国大院理工学，²⁾高エネ研物構研，³⁾総研大高エネルギー加速器科学，⁴⁾物材機構先端材料解析研究拠点，⁵⁾筑波大院応用理工)