2020年日本表面真空学会学術講演会

Presentation information

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

Fri. Nov 20, 2020 1:00 PM - 4:30 PM E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

4:15 PM - 4:30 PM

[2Ep14] Maintaining the degree of vacuum of reference room for capacitance manometer

○関根正志1),牛島大1),津村佳宏1),石原卓也1),吉川康秀1),吉田肇2) (1)アズビル(株),2)産総研計量標準総合センター工学計測標準研究部門)