2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

真空科学技術(VST)

[2Ep] 真空科学技術(VST)

2020年11月20日(金) 13:00 〜 16:30 E会場

座長:神谷 潤一郎・栗巣 普揮

16:15 〜 16:30

[2Ep14] サファイア隔膜真空計の基準室真空度維持

○関根正志1),牛島大1),津村佳宏1),石原卓也1),吉川康秀1),吉田肇2) (1)アズビル(株),2)産総研計量標準総合センター工学計測標準研究部門)