2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

薄膜(TF)

[3Ba] 薄膜(TF)

2020年11月21日(土) 09:00 〜 12:00 B会場

座長:後藤 哲也・北川 雅俊

09:30 〜 09:45

[3Ba03] SiO2/4H-SiC界面における界面準位と界面構造の相関

○山下良之1,2),INDARI DwiEfi1,2),蓮沼隆3),山部紀久夫3) (1)物材機構,2)九大工,3)筑波大)