2020年日本表面真空学会学術講演会

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薄膜(TF)

[3Ba] 薄膜(TF)

Sat. Nov 21, 2020 9:00 AM - 12:00 PM Ｂ会場

座長：後藤 哲也・北川 雅俊

10:00 AM - 10:15 AM

[3Ba05] XPS analysis of DLC thin films

○山田健二1)，針谷達2)，滝川浩史2) (1)石川工業高専，2)豊橋技科大)