[3Ba] 薄膜(TF)

[3Ba10S] エキシマ光アシストアニーリングによる溶液プロセスを用いた酸化インジウム薄膜の低温形成とTFTの特性評価

○高野圭佑^1,2)，大浦紀頼^1,2)，和田英男²⁾，小山政俊²⁾，前元利彦²⁾，佐々誠彦²⁾ (¹⁾大工大院工，²⁾大工大ナノ材料マイクロデバイス研究センター)