2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

[3Cp] 半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

2020年11月21日(土) 13:00 〜 15:00 C会場

座長:服部 梓

13:30 〜 13:45

[3Cp03] CVD合成ダイヤモンド結晶を起点とした単層カーボンナノチューブの成長

○大森慎也1),石川豊1) (1)日本工業大)