2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

[3Cp] 半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

2020年11月21日(土) 13:00 〜 15:00 C会場

座長:服部 梓

14:00 〜 14:15

[3Cp05S] 化学改質したグラフェンシートを援用した水中でのGe表面の新エッチング法

○三栗野諒1),小笠原歩見1),平野智暉1),川合健太郎1),山村和也1),有馬健太1) (1)阪大院工)