[3Cp] 半導体・磁気・電子・光デバイス材料・電子材料プロセス(EMP・MI・MS)

[3Cp07(産業賞)] 窒化物系紫外発光デバイスおよび先端デバイス用MOCVDの開発

○小関 修一¹⁾ (¹⁾大陽日酸（株）イノベーション事業本部)