2020年日本表面真空学会学術講演会

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表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

[3Da] 表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

Sat. Nov 21, 2020 9:00 AM - 12:15 PM D会場

座長:福間 剛士・杉本 宜昭

9:15 AM - 9:30 AM

[3Da02] Analysis of sp2 and sp3 carbon distribution in sputtered nanocarbon thin films by friction force microscopy

○堀之内公香1),中村振一郎2),石川大輔1),原正彦1) (1)東工大物質理工,2)理研)