2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

[3Da] 表面分析・応用表面科学・評価技術(ASS)

2020年11月21日(土) 09:00 〜 12:15 D会場

座長:福間 剛士・杉本 宜昭

09:15 〜 09:30

[3Da02] 摩擦力顕微鏡を用いたスパッタナノカーボン薄膜のsp2およびsp3炭素分布の分析

○堀之内公香1),中村振一郎2),石川大輔1),原正彦1) (1)東工大物質理工,2)理研)