2020年日本表面真空学会学術講演会

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低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

[3Ea] 低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

Sat. Nov 21, 2020 9:00 AM - 12:15 PM Ｅ会場

座長：松本 卓也・西野 智昭

9:00 AM - 9:15 AM

[3Ea01S] Change of Si 3D microstructure and surface structures by high temperature flashing

○中塚聡平1)，内藤完1)，今泉太志1)，虻川匡司1)，江口豊明2)，服部梓3)，田中秀和3)，服部賢4) (1)東北大多元研，2)東北大院理，3)阪大産研，4)奈良先端大)