2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

[3Ea] 低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

2020年11月21日(土) 09:00 〜 12:15 E会場

座長:松本 卓也・西野 智昭

09:00 〜 09:15

[3Ea01S] フラッシング加熱によるSi3Dマイクロ構造と表面の構造変化

○中塚聡平1),内藤完1),今泉太志1),虻川匡司1),江口豊明2),服部梓3),田中秀和3),服部賢4) (1)東北大多元研,2)東北大院理,3)阪大産研,4)奈良先端大)