2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

[3Ea] 低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

2020年11月21日(土) 09:00 〜 12:15 E会場

座長:松本 卓也・西野 智昭

09:45 〜 10:00

[3Ea04] 化学気相成長法により成膜した大規模連続二硫化モリブデン膜の走査プローブ法による形態評価

○安藤淳1),久保利隆1),入沢寿史1) (1)産総研)