[3Ep] 低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

[3Ep12] High-performance graphene transistor using SiC single crystalline thin film on device wafers

○吹留博一¹⁾，秋山 昌次²⁾，田島圭一郎¹⁾，舩窪 一智¹⁾，小濱 路生¹⁾，小西繁²⁾，茂木 弘²⁾，川合 信²⁾，久保田 芳宏²⁾，堀場 弘司³⁾，組頭 広志³⁾，渡邊一世⁴⁾ (¹⁾東北大通研，²⁾信越化学工業，³⁾高エネ研，⁴⁾NICT)