2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

[3Ep] 低次元・ナノ構造・ナノ物質(LD・NS・NM)

2020年11月21日(土) 13:00 〜 16:30 E会場

座長:吹留 博一・久保 理

15:45 〜 16:00

[3Ep12] デバイス基板転写SiC単結晶薄膜を用いた高性能グラフェン・トランジスタ

○吹留博一1),秋山 昌次2),田島圭一郎1),舩窪 一智1),小濱 路生1),小西繁2),茂木 弘2),川合 信2),久保田 芳宏2),堀場 弘司3),組頭 広志3),渡邊一世4) (1)東北大通研,2)信越化学工業,3)高エネ研,4)NICT)