2021年日本表面真空学会学術講演会

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株式会社トヤマ

株式会社トヤマ

トヤマは超高真空をキーワードに「モノづくり」を通して,物質の根源探求,エネルギー問題, 環境問題,生命・医療の問題など,人類の大きな課題に取り組む世界の最先端科学に携わる 皆様のパートナーであり続けています.

トヤマの技術は,放射光実験装置など大型実験施設から,汎用実験装置など多岐に及びますが, 今回は,汎用実験装置としての分析装置および成膜装置をご紹介します.ご紹介する分析装置は, 実空間―k空間のPEEM,NanoESCA,クラスターSIMS装置,STXM,及びガス分析装置であり, 成膜装置は対向ターゲットスパッタリング装置,MBE装置,及び電子ビーム蒸着装置と, いずれも他にはない特長を持っています.是非,この機会にお立ちよりください.