今回のテーマは低ガス放出と高精度質量ガス分析です．極高真空から大気圧までのラ インナップをそろえた真空機器，BeCu真空部品を紹介します．

【真空計】
一体型で使いやすいフルレンジゲージ CC-10，コンパクトなミニチュアイオンゲージ IG-10， 10E-12 [Pa] での極高真空計測ができる 3Bゲージ などを紹介します．
【質量分析計】
超高感度計測が可能なTOELブランドの四重極質量分析計WATMASS-MPH， また米国イン フィコン社の代理店としてインフィコンブランドの四重極質量分析計Transpectorシ リーズを紹介します．
【0.2%BeCu合金】
ステンレス鋼に代わる0.2%BeCu合金は，高熱伝導率と低熱輻射率による超低ガス放出 化・ 低温化により極高真空を生み出します．0.2%BeCu合金は当社の極高真空コン ポーネント・ 超高感度ガス分析装置に使用され，従来のステンレス鋼使用のコン ポーネント・装置に比べ 格段の高い性能を引き出します．今回はニップル（配 管），キューブ（継手），フランジ，チャンバを紹介します．
【吸着型極高真空ポンプ】
ポンプケーシングに0.2%BeCu合金を採用し極高真空をもたらすマジックNEG，また， NEGの粉末を最新技術の非接触型アトマイズ法で製造し，粒子を圧縮固化せず 使用す る新しい発想のAG-NEGを紹介します．
【超高感度ガス分析システム】
超低ガス放出質量分析計WATMASS-MPHおよび，超低ガス放出真空構造材0.2%BeCuを 活 用した分析計は10E-7 [Pa]台を保持した蓄積法が可能な新しい発想の分析法です．

質量ガス分析，低ガス放出の真空構造材については 東京電子オンラインEXPOもご参照ください．

製品に関するお問い合わせ，資料請求はこちらまで：sales@toel.co.jp