NEGベローズ
「真空排気の効果をもつ成形ベローズ」を高エネルギー加速器研究機構の間瀬教授との 共同研究により開発しております．成形ベローズにNEG（非蒸発ゲッター）を成膜することで， 非蒸発ゲッターポンプとして残留水素を排気する機能を持たせました． 加速器などの超高真空を必要とするシステムへの活用が期待でき，製品化に向け開発を進めております．