荏原の精密・電子事業カンパニーは業界最先端の技術製造現場を支える，真空技術と平坦化技術のリーディングカンパニーです．

CMP装置を始め，ドライ真空ポンプ，排ガス処理装置，オゾン水製造装置など様々な製品を世界中に供給しています． 化学，医薬，その他の製造業や研究開発用途で荏原製作所の製品が活躍しています．

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