[1Ap01-15] 表面分析研究部会「最近の表面分析いろいろ」

[1Ap01] 計測データの信頼性に関する課題提起

*鈴木 峰晴¹ (1. SAコンサルティング)

表面分析の分野では計測装置，試料準備，計測，データ処理のフロー全てに渡る信頼性が問題となる．計測における信頼性の要素は，3R（repeatability, replicability, reproducibility）として整理されている． 表面分析研究部会ではそれを踏まえて，最新の装置を用いた計測，データ処理の進展を紹介していただき，さらには表面化学分析における標準化に関して議論する機会を企画した．