[1Ap01-15] 表面分析研究部会「最近の表面分析いろいろ」

[1Ap09] XPSデータセットにおけるピーク分離および解析の現状とその課題

*原田 善之¹、角谷 正友¹、篠塚 寛志¹、登坂 弘明¹、吉川 英樹¹、田沼 繁夫¹ (1. 国立研究開発法人 物質・材料研究機構)

NIMS-DPFCのRDEデータセットに登録されている、GaN初期酸化過程のように、データセット多数XPSスペクトルの解析について、スペクトル群をデータセット化し、データセットに対して自動解析を試みた。スペクトル解析には、BIC解析法をはじめ、主成分分析かターゲット変換を行う2種類の方法を試みている。これら解析結果からGaN、各面、各ガス種による酸化傾向について報告する。