[1Ea01-05] 真空科学技術

[1Ea03] 光学式圧力標準の開発　～圧力を屈折率と温度から求める～

*武井 良憲¹、吉田 肇¹、寺田 聡一¹、尾藤 洋一¹、小畠 時彦¹ (1. 国立研究開発法人産業技術総合研究所)

将来の圧力の国家標準の一つとするために、光学式圧力標準を開発している。気体の屈折率はファブリ・ペロ共振器とレーザを用いて精密計測した。温度は恒温水を用いて安定させてサーミスタを用いて精密計測した。開発した光学式圧力標準を、従来の圧力標準で校正された高精度真空計と比較した結果、それらの計測結果が不確かさの範囲内で一致した。今後、光学式圧力標準の計測精度をさらに向上させ、圧力標準として確立させる。