[1Ea01-05] 真空科学技術

[1Ea05] 疑似南部法を用いたDSMCによる希薄流のマルチフィジックス解析

*伝宝 一樹¹ (1. 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株))

前報では，新しい分子間衝突手法である「疑似南部法」を開発し，COMSOL Multiphysics(R)上に初のDSMCを創成．単原子分子に加え，二原子分子や混合気体に拡張した．講演会では，このDSMCを用いたマルチフィジックス解析の事例として，共役伝熱解析や，Test-particle法との連成解析を紹介する．