[2Aa01-14] データ駆動表面科学研究部会「データ駆動アプローチ研究の最近の動向」

[2Aa03] 多次元分光イメージング分析における機械学習活用

*永村 直佳^1,2,3 (1. 物質・材料研究機構、2. 科学技術振興機構 さきがけ、3. 東京理科大学大学院先進工学研究科)

我々は放射光軟X線走査型光電子顕微鏡を用いて、デバイス微細構造のオペランド時空間分解測定に取り組んでいる。画像データ各点で得られるスペクトルビッグデータの計測と解析を効率化するため、変形ECMアルゴリズムを用いた高速自動ピークフィッティング解析やスパースモデリングによる超解像分析の手法を開発し、時空間、外場など様々なパラメータ依存性を調べる多次元分光イメージング分析が現実的に可能になった。