2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

部会

[2Aa01-14] データ駆動表面科学研究部会「データ駆動アプローチ研究の最近の動向」

2021年11月4日(木) 08:15 〜 11:45 A会場 (うどん)

座長:小嗣 真人(東京理科大学)、安藤 康伸(産業技術総合研究所)

11:15 〜 11:30

[2Aa13S] 3種高分子試料TOF-SIMSデータの自己符号化器による解析におけるハイパーパラメータ評価

*伊藤 克1、松田 和大1,2、青柳 里果1 (1. 成蹊大学理工学部、2. 株式会社東レリサーチセンター)

飛行時間形二次イオン質量分析(TOF-SIMS)は、分子の3次元イメージングが可能な高感度表面分析手法である。データの解釈には、多変量解析や自己符号化器を用いた解析が報告されているが、自己符号化器における最適な学習方法は確立されていない。本研究では、自己符号化器を用いて3種高分子4層試料のデータ解析を適切に行うことで、TOF-SIMSデータにおける自己符号化器の基本モデルを示すことを目指す。