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[2Ba06] 大気圧プラズマジェット照射可能なナノピペットプローブ顕微鏡の開発
大気圧プラズマジェットは表面改質や殺菌処理，治療など多義にわたる応用が期待され，近年，盛んに研究されている．プラズマ照射範囲を局在化することで微細加工が可能であることからマイクロデバイスの作製技術としての応用が期待される．我々は走査型プローブ顕微鏡(SPM)を援用した大気圧プラズマジェット微細加工装置を開発している．本発表では，このSPMを用いた様々な加工法について紹介する．