[2Dp01-05] 表面分析・応用表面科学・評価技術

[2Dp03S] EMアルゴリズムを用いたRHEED画像の機械学習自動解析

*吉成 朝子^1,2、安藤 康伸³、松村 太郎次郎³、小嗣 真人¹、永村 直佳^1,2,4 (1. 東京理科大学大学院先進工学研究科、2. 物質・材料研究機構、3. 産業技術総合研究所、4. 科学技術振興機構さきがけ)

RHEED(反射高速電子線回折)は薄膜評価に広く用いられるが，回折パターン全体の定量的な解釈は難しく，情報を十分に活用できていない。そこで我々は，機械学習を利用した情報抽出を試みた。Si清浄表面の金属蒸着量に依る表面超構造変化を捉えたRHEED画像において，EMアルゴリズムを用いて輝度ヒストグラムの解析を行った。ピーク形状の変化を追うことで，各表面超構造作製における最適蒸着時間の見積もりが行えた。