2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスターセッション(コアタイム)

[2P01-37] ポスター・企業展示

2021年11月4日(木) 15:30 〜 17:30 P会場 (P会場)

座長
15:30-16:30 吉田靖雄(金沢大)
16:30-17:30 勝部大樹(長岡技術科学大)

[2P06] ファセット化マクロステップがある微斜面の表面荒さ

*阿久津 典子1 (1. 大阪電気通信大学)

ファセット化したマクロステップのある微斜面について表面荒さをモンテカルロ法で計算した。平衡状態(Δμ=0)ではゆらぎ幅はゼロであったが、非平衡定常状態ではゆらぎ幅が表面のサイズが増大すると増大することが得られ、表面の幅はマクロステップの形成・解消点ΔμR(表面サイズに依存する)で最大にななった。これは微斜面がラフであることを示す。