2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスターセッション(コアタイム)

[2P01-37] ポスター・企業展示

2021年11月4日(木) 15:30 〜 17:30 P会場 (P会場)

座長
15:30-16:30 吉田靖雄(金沢大)
16:30-17:30 勝部大樹(長岡技術科学大)

[2P07] ファセット化マクロステップがある微斜面のラフネス指数と マクロステップ形成・解消スケーリング関数

*阿久津 典子1 (1. 大阪電気通信大学)

ファセット化マクロステップを持つラフな微斜面について、モンテカルロ法により表面の幅を計算した結果を解析した 。 見かけのラフネス指数αpは駆動力に依存し、サイズが大きくなると少しではあるがより大きくなった。 しかし、さらにマクロステップの形成・解消点ΔμR近傍を解析したところ、マクロステップの形成・解消に関するスケーリング関数を得た。この関数の性質から真のラフネス指数は0.60であることを明らかにした。