2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

ポスターセッション(コアタイム)

[2P01-37] ポスター・企業展示

2021年11月4日(木) 15:30 〜 17:30 P会場 (P会場)

座長
15:30-16:30 吉田靖雄(金沢大)
16:30-17:30 勝部大樹(長岡技術科学大)

[2P16S] シラス多孔質ガラス薄膜形成におけるスピノーダル分解制御因子の抽出

*茶谷 那知1、野口 大輔1、寺村 享祐2、矢野 智泰2、栗原 路子3、近藤 千恵子3 (1. 都城工業高等専門学校物質工学科、2. 三井金属鉱業株式会社機能材料事業本部、3. 高千穂シラス株式会社R&Dセンター)

本研究室では九州南部に広く分布する火山噴出物であるシラスを原料とした機能性材料の研究開発を実施している。その中で親水特性向上の為にガラスの相分離現象を利用した多孔質薄膜の作製に成功しており、優れた防曇特性を長期間維持することを期待されている。本研究ではスパッタ法で作製した薄膜のスピノーダル分解制御因子を明らかにし、成膜条件による薄膜組成の変化との相関関係及びそのメカニズムの解明を目的とする。