[3Ba01-12] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会「スパッタ・プラズマで切り拓くナノ構造の世界」

[3Ba01] パルスマグネトロンスパッタリング法によるナノクラスター担持機能材料

*中嶋 敦¹、平田 直之²、戸名 正英²、塚本 恵三² (1. 慶應義塾大学、2. 株式会社アヤボ)

原子が数個から数百個程度凝集したナノクラスター（NC）は機能材料の単位として注目され、触媒や電磁気特性、光物性の単位は、NCを精密に担持や集積する必要がある。本研究ではスパッタリングをパルス的に行う高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法を用いて、白金や銀の単成分や金属-シリコンの複合成分のNCをイオン電流量nA程度の量で生成させ、電池触媒や光応答表面、電気伝導体などの機能材料に展開した。