2021年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

部会

[3Ba01-12] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会「スパッタ・プラズマで切り拓くナノ構造の世界」

2021年11月5日(金) 09:00 〜 12:00 B会場 (オリーブ)

座長:中野 武雄(成蹊大学)、黒岩 雅英(東京電子)

09:30 〜 10:00

[3Ba03] 炭素プラズマ照射によってAg(111)上に形成されるナノ構造のSTM観察

山下 元気1、*黒川 修1 (1. 京都大学)

貴金属表面に炭素プラズマを照射することによって形成されるナノ構造の形態の照射条件の違いによる変化を調べた.また,形成される構造の電子状態密度計測を行い,これらがC20フラーレンの1次元重合体であると仮定した場合のシミュレーション結果との比較を行った.