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[3Ba05] スパッタ法により作製した磁性金属-セラミックスナノグラニュラー薄膜の磁気誘電特性
最近,我々のグループでは、磁性金属-セラミックスナノグラニュラー薄膜において、室温で磁場の印加により誘電特性が変化する現象を発見し、「トンネル磁気誘電(TMD)効果」と命名した。磁性金属-セラミックスナノグラニュラー薄膜や磁気誘電特性などのこれまでの研究背景に触れるとともに、TMD効果の原理、スパッタによる薄膜作製法、特性の改良の試みなどについて紹介する。