[3Ba01-12] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会「スパッタ・プラズマで切り拓くナノ構造の世界」

[3Ba11S] ホローカソード型大電力パルス放電プラズマの時間分解発光分光分析

*森 幹太¹、Britun Nikolay²、楊 明¹、清水 徹英¹ (1. 東京都立大学システムデザイン研究科、2. 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター)

ナノ粒子の生成手法として,低環境負荷かつ高制御性を実現する手法としてホローカソード型大電力パルススパッタリング(HiPIHCS)がある．本研究では, ナノ粒子が成長する空間領域におけるHiPIHCS プラズマの基本特性として,スパッタガスおよびスパッタ粒子の空間分布とその時間変化を計測することを目的とし, ICCD カメラによるプラズマ発光分光分析(以下OES)イメージング計測を行った．